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NANOLITOGRAFIA

SISTEMA DI "STAMPA" MOLECOLARE  Nano eNabler™

Nano eNabler™ e’ uno strumento “bench-top” allo stato dell’arte che consente la litografia di pattern di fluidi su ultra-micro e nano scala sulla

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superficie di un substrato solido. I volumi di  fluido trasferiti sulla superficie sono compresi nell’intervallo da 10-18 a 10-12 litri e contengono soluzioni di biomolecole, sostanze organiche o nanoparticelle che vengono depositate con dimensioni dello spot comprese da 1 a 60µm in punti predefiniti. Il processo di litografia dei pattern avviene con il metodo di trasferimento FEMTO (Fluidic Enhanced Molecular Transfer Operation)  che utilizza particolari utensili, costituiti da uno speciale chip in silicio rettangolare denominato SPT (Surface patternig tool), ovvero la “cartuccia” dell’apparato. Questo chip e’ realizzato su un substrato di supporto delle dimensioni di qualche millimetro per lato,  include la speciale struttura con serbatoio collegata ad un cantilever a   microcanale per l’alimentazione “in continuo” del fluido sula superficie di un substrato, ed e’ movimentato sul piano XY dallo stage portacampione.

  

  

  

 

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 NanoEnabler include anche il fornetto “’UV Ozone cleaner”  per la pulizia dei componenti DPN mediante radiazione  combinata di  UV e gas ozono.

 

Specifiche Tecniche Apparato NanoEnabler  e Microscopio

  • Area stampabile sul piano XY : 50mm x 50mm
  • Risoluzione stage XY : 20nm
  • Escursione sull'asse verticale : 45mm
  • Risoluzione fine sull'asse verticale : 100nm
  • Controllo della forza applicata : sistema feedback a laser
  • Controllo dell'umidità : 25-80 RH
  • Zoom progressivo microscopio : 150X - 1000X
  • Sistema  di visione : telecamera digitale USB con sofware di acquisizione immagini

Software di Controllo "NanoArrayer"

  • Navigazione video del substrato in XYZ
  • Gestione dei pattern litografici - Importazione dei files grafici (bitmap o CAD) dasoftware nanoenabler utilizzare come modello litografico
  • Regolazione tempo di contatto tra leva e superficie e del tempo di attesa tra un contatto ed il successivo
  • Creazione di pattern a spot e relativo layout
  • Realizzazione di nanoarray singoli e a matrice
  • Riconoscimento automatico della superficie (Automatic Find Surface)
  • Regolazione dell'umidità dell'ambiente interno

 

Utensili di Litografia

  • Dotati di sistema microfluidico per l'alimentazione ispt-s-c60r1n continuo delle leve
  • Possibilità di utilizzo simultaneo di differenti fluidi
  • Possiibilità di utilizzo degli utensili senza serbatoio
  • Compatibili con fluidi a base acquosa, organica, acida o basica
  • Riutilizzabili e facilmente sostituibili dall'utenti

PDF DOWNLOAD

Nano eNabler™  System catalog (english language) 

  

 


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