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Prodotti PROFILOMETRIA OTTICA 3D PROFILOMETRO OTTICO 3D PER METROLOGIA "FRONT END"
Prodotti PROFILOMETRIA OTTICA 3D PROFILOMETRO OTTICO 3D PER METROLOGIA "FRONT END"
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PROFILOMETRO OTTICO 3D PER METROLOGIA “FRONT-END” La soluzione Globale per Clean-Room di classe 1 MicroProf® Front-End e’ un sistema di profilometria 3D ad elevatissimo grado di automazione, appositamente progettato per l’impiego in linea di produzione di wafers di silicio 200 e 300mm, maschere, MEMS e dispositivi similari . Lo strumento, conforme ai piu’ stringenti standard di “cleanliness” richiesti nel processo di produzione dei wafers, è disegnato e certificato per l’utilizzo in camera bianca. Il profilometro Ottico MicroProf® Front-End viene impiegato per le principali applicazioni di metrologia delle superfici quali : rugosità superficiale, planarità, step-heights, TTV, dimensioni critiche, topografia 3D, e misura dello spessore del film. MicroProf® è realizzato per applicazioni di metrologia front-end, è in grado di eseguire misurazioni multiple in modo completamente automatico, ed è conforme alle interfacce software standard SECS II / GEM. Il sistema è equipaggiato con il caricatore automatico dei wafers, preallinemento automatico, routine di autocalibrazione, pattern recognition e OCR. Play video |
