Profilometria ottica 3D

Come è noto la profilometria ottica 3D è una tecnica consolidata per la metrologia a non contatto delle  superfici. Grazie alla  velocità di acquisizione delle immagini, la semplicità di utilizzo,  l'ampio campo di visione  , il profilometro ottico 3D è lo strumento ideale per l’analisi veloce e ad alta risoluzione della topografia di ottiche, rivestimenti, componenti meccanici, wafer di silicio, ceramiche, celle solari, MEMS  e altro ancora.

Le misure  tipiche che un profilometro ottico 3D puo’ eseguire  sia su superfici lisce che a ruvidità pronunciata sono  rugosità superficiale, forma,  gradini, profili,dimensioni  critiche, spessore, volume e in genere qualsiasi misura dimensionale.

Con questi strumenti è  possibile ottenere una risoluzione verticale su scala nanometrica o sub-nanometrica e una risoluzione laterale (dipendente dall’obiettivo) sub-micrometrica.

Il vantaggio di poter disporre in un solo strumento della modalità confocale e di quella interferometria estende ancor più il campo di applicazioni, consentendo  ad esempio l’analisi su superfici piatte o ultra-piatte (interferometria VSI e PSI), su superfici rugose (confocale) con possibilità di misurare gradini e pareti con inclinazione prossima ai 70° (confocale).

L’utilizzo di una tavola XY motorizzata in abbinamento al potente software di stitching , consente l’ottenimento di immagini a mosaico in modo totalmente automatico  con range di scansione finale molto più grande di quella del campo visivo del singolo obiettivo.

L’esperienza della Dora Tecnologie in tale segmento mette a disposizione del cliente un ampio ventaglio di soluzioni, anche a costi contenuti per un sistema installato chiavi in mano.

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